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电子工业超纯水处理工艺及成套解决方案发表时间:2016-11-15 11:48 电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)电子级超纯水设备出水水质符合ASTM纯水水质标准、电子工业部高纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准、外规模集成电路水质标准电子工业超纯水设备预处理主要是由多介质过滤器、活性炭过滤器、钠离子软化器和精密过滤器构成。电子工业超纯水设备在选材方面可参考客户意见,该设备与其他同类设备相比性能比更加稳定。对于电子行业,是半导体、集成电路芯片等方面用水水质要求较高。集成电路集成度越高,线宽越窄,水质要求也高。 电子工业超纯水主要工艺
采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。 电子工业超纯水设备应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水。 2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水。 3、实验室和中试车间用超纯水。 4、汽车、家电表面抛光处理。 5、光电子产品。 温馨提示:我公司可根据客户水源水质、水温、产水量及用途不同,为客户定制合适的水处理设备详情请拨打免费咨询电话:400-995-3698-2 |